三氯氫硅的生產(chǎn)大多采用沸騰氯化法，主要包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅精制等工序。氯氣和氫氣在氯化氫合成爐內(nèi)通過燃燒反應(yīng)生成氯化氫，氯化氫氣體經(jīng)空冷、水冷、深冷和酸霧捕集脫水后進人氯化氫緩沖罐，然后送三氯氫硅合成爐。硅粉經(jīng)過干燥后加入到三氯氫硅合成爐，與氯化氫在300℃左右的高溫下反應(yīng)，生成三氯氫硅和四氯化硅。生成的粗三氯氫硅氣體經(jīng)過旋風(fēng)分離和除塵過濾后，進入列管冷凝器進行水冷和深冷，不凝氣通過液封送入尾氣洗滌塔，處理后達標(biāo)排放，冷凝液蒸餾塔分離提純，通常采用二塔連續(xù)提純，一塔塔頂排低沸物，二塔塔底排高沸物四氯化硅，同時塔頂出三氯氫硅產(chǎn)品。

    淄博萬達利特種氣體公司生產(chǎn)的氯化氫在淄博齊魯石化工業(yè)園區(qū)注冊的高新科技企業(yè)，淄博萬達利直屬于北京華宇同方，主要從事新材料技術(shù)和化工新技術(shù)的研發(fā)，以及高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售。研發(fā)的沸石催化劑及其應(yīng)用技術(shù)處于世界先進水平。生產(chǎn)的“華宇同方”牌氯化氫氣體產(chǎn)品與國際知名品牌的性能相當(dāng)，為半導(dǎo)體器件制造業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和醫(yī)藥工業(yè)提供了充足的優(yōu)質(zhì)原材料。